Thành hoàng ghi bằng chữ Nho là 城隍. “Thành” 城 là cái thành, chỉ một địa điểm tụ cư xưa. “Hoàng” 隍 theo nghĩa chữ Nho là cái ao cạn, hay cái hào nước cạn. Các tác giả thường cho rằng đây là cái hào bao quanh cái thành, và khi ghép chung lại thành một từ dùng để chỉ vị thần coi giữ, bảo trợ cho cái thành (Từ điển Hán Việt, Đào Duy Anh). Tuy nhiên, nếu xét sát nghĩa như trên thì ta thấy “hoàng” không phải là cái hào có nước bao quanh thành. Hơn nữa khi 2 từ này ghép lại là “thành hoàng” thì không có từ nào để chỉ người cả, nên không thể suy ra nghĩa là vị thần coi giữ thành.
Chính xác hơn thì từ Hoàng 隍 vốn là một chữ Nôm được cấu tạo từ bộ phụ 阝, chỉ một khu đất, và chữ hoàng 皇, chỉ người đứng đầu. Khi ghép nghĩa của 2 bộ phận này (phép Hội ý) ta có chữ Hoàng 隍 mang nghĩa là người đứng đầu một khu vực đất đai, tương ứng với nghĩa là thần chủ của khu vực đó.
Sách Việt Nam phong tục của Phan Kế Bính chép: “Xét về cái tục thờ Thần hoàng này từ trước đời Tam Quốc trở về trước vẫn đã có, nhưng ngày xưa thì nhà vua nhân có việc cầu đảo gì mới thiết đàn cúng tế mà thôi. Đến đời nhà Đường, Lý Đức Dụ làm tướng, mới bắt đầu lập miếu Thần hoàng ở Thành Đô; kế đến nhà Tống, nhà Minh, thiên hạ đâu đâu cũng có lập miếu thờ.”
Như thế ban đầu là tục thờ “thần hoàng”, chứ không phải “thành hoàng”, nên việc ghép nghĩa “hoàng” là cái hào bao quanh thành ở đây là không sát thực. Ban đầu “thần hoàng” hay “hoàng” là từ để chỉ một vị thần chủ được thờ phụng. Sau này khi người ta lập thần cho một khu vực cư trú nhất định (thành) thì vị thần này mới mang tên gọi là “thành hoàng”. Cho tới nay, ở các tỉnh miền Nam, người ta vẫn gọi là “Bổn cảnh thần hoàng”, chứ không phải “thành hoàng” như ở miền Bắc.
Trong lời hát xoan ở Phú Thọ, Vĩnh Phú, khi dùng để hát chầu nơi cửa đình, thường nói đến vị “Vua”. Ví dụ, hát mời vua:
Vua lên thánh đức trị vì
Vua về nghe hát, mừng làng sống lâu.
“Vua” ở đây là thành hoàng làng. Tức là chữ Hoàng có nghĩa là “vua”, chỉ thần chủ của làng.
Người Việt rất coi trọng tín ngưỡng thờ thành hoàng nên những vị thần được cả làng lựa chọn thờ cúng đều là những người có công lao, sự nghiệp đối với làng xã, với đất nước. Khảo sát trong các vị thành hoàng ở Việt Nam hầu như đều là những nhân vật lịch sử có thật ở các thời kỳ khác nhau. Những nhân vật lịch sử có sự tích rõ ràng được gọi là các Nhân thần. Chủ yếu đây là những anh hùng dân tộc, những nhân vật lịch sử qua các thời kỳ trung đại như các vị tướng của Bà Trưng, Bà Triệu, thời Tiền Lý, Mai Thúc Loan, Phùng Hưng, Ngô Quyền, Đinh, Lê, Lý, Trần. Hiếm gặp hơn (chủ yếu ở miền Nam) là các nhân vật lịch sử thời Nguyễn được sắc phong là thành hoàng làng.
Những còn nhân vật ở thời kỳ xa xưa, với sự tích huyền ảo thường bị nhầm lẫn gọi là Thiên thần hay Nhiên thần. Tuy nhiên, khi xét kỹ đây đều vẫn là những con người có thực, là những vị anh hùng có công lao to lớn trong buổi đầu dựng nước và giữ nước của dân tộc. Một số “Nhiên thần” hay “Thiên thần” ở dạng này có thể kể đến như Tản Viên Sơn Thánh, Huyền Thiên Trấn Vũ, Thánh Dóng, thần Đồng Cổ, Bạch Hạc Tam Giang… Dù có được gọi là “Sơn thần” hay “thủy thần” thì các vị thần này vẫn có nguyên mẫu là một nhân vật từng tồn tại trong quá khứ.
Đình Xuân Quan, nơi thờ Triệu Vũ Đế.
Người Việt lại càng tỉnh táo và cẩn trọng trong việc nhìn nhận các vị quan lại của nhân dân hay của giặc ngoại xâm. Hầu như người Việt không thờ “giặc ngoại xâm” bao giờ, mà thực chất những vị thần được thờ có xuất xứ dưới thời Bắc thuộc đều vốn là những người gốc Việt, từng có công với dân với nước. Đây là trường hợp của Triệu Đà (làng Xuân Quan, Văn Giang, Hưng Yên; các làng ở khu vực Từ Sơn và Quế Võ, Bắc Ninh), Lưu Bang, Lữ Hậu (làng Bát Tràng), Đặng Nhượng, Tích Quang (làng Lý Đỏ, Hải Dương; làng Lệ Chi, Gia Lâm, Hà Nội), Nhâm Diên (làng Nga My Thượng, Thanh Oai), Sĩ Nhiếp (các làng ở vùng Thuận Thành, Bắc Ninh), ba vị họ Chu (ở Thạch Thất, Hà Nội). Thậm chí có cả các Tiết độ sứ thời kỳ sau này như Vũ Hồn (ở Hải Dương), Cao Biền (ở Bắc Ninh). Khi suy xét kỹ nguồn gốc, sẽ nhận ra tất cả những vị thành hoàng “thời Bắc thuộc” này vốn đều là người gốc Việt, làm quan dưới các triều đại của người Việt.
Ngai vị Lưu Thiên tử và Lữ Hoàng hậu ở đình Bát Tràng.
Một số trường hợp thờ thành hoàng có nguồn gốc Trung Hoa như Tứ vị Hồng nương, Thiên Hậu, Quan Thánh Đế Quân, thậm chí cả Tề Thiên Đại Thánh. Đây đều là những vị phúc thần phổ biến trong văn hóa Trung Hoa, không phải “giặc ngoại xâm”.
Trường hợp khác là các thành hoàng có nguồn gốc từ tín ngưỡng Ấn Độ (Bà La Môn giáo và đạo Phật). Xếp vào loại này có các vị Bà trong Tứ pháp (Pháp Vân, Pháp Vũ, Pháp Lôi, Pháp Điện), Đế Thích (tập trung ở Hưng Yên và Hà Nội). Thậm chí có nơi thờ cả Phật tổ Thích Ca làm thành hoàng như đình làng Thổ Cốc (Tân Lập, Yên Mỹ, Hưng Yên). Có lẽ tên gọi “Thiên thần” chỉ nên dùng cho các vị thành hoàng xuất xứ từ tôn giáo.
Lẻ tẻ có một vài nơi có đền miếu thờ các viên tướng giặc như thờ Mã Viện hay Sầm Nghi Đống, nhưng thực chất đều không phải là các thành hoàng làng được sắc phong, mà là do những nhóm Hoa kiều lập miếu thờ.
Chính điện đình Kim Ngân, thờ ông tổ bách nghệ Hiên Hoàng.
Ở một số làng thờ các vị có công truyền dạy nghề cho dân làng, như vị tổ nghề gốm Bát Tràng, làng Phù Lãng, vị tổ nghề đúc đồng ở Đại Bái, nghề chạm khắc gỗ làng Đông Giao, Hải Dương… Trong số các vị thành hoàng là tổ nghề, đáng chú ý có nơi thờ các nhân vật của cổ sử Trung Hoa như đình Kim Ngân (Hàng Bạc, Hà Nội) thờ Hiên Viên Hoàng Đế là tổ bách nghệ. Nhiều làng nghề mộc như Dư Dụ (Thanh Thùy, Thanh Oai, Hà Nội) thờ ông Lỗ Ban, tổ sư của nghề mộc.
Người Việt không thờ cái hào bao quanh thành, không thờ những tà thần làm thành hoàng, không thờ giặc ngoại xâm trong đình làng. Thành hoàng làng đều là những nhân vật lịch sử hoặc tôn giáo có công lúc sống, hiển linh lúc mất với nước với dân.
Cự thạch, đàn tế cổ ở Đại Đình, Tam Đảo.
Đền Nhà Bà ở Phù Ninh, Phú Thọ.
Nghè Gia Lâm, Lệ Chi, Gia Lâm, Hà Nội.
Cổng Lâm Dương quán, nay là chùa Đa Sĩ.
Chùa Pháp Vũ ở Ân Thi, Hưng Yên.
Bệ đá thời Lý đỡ tượng Từ Đạo Hạnh ở chùa Thầy.
Đền Đỗng Hoa, đàn thiện ở Thạch Thất.
Miếu Bà Giàng – Thai Dương phu nhân ở Thuận An.
Đá thờ trong nội điện miếu Bà Giàng – Thai Dương phu nhân ở Thuận An.
Sắc phong thời Tự Đức cho Dương phu nhân trung đẳng thần ở xã Thi Ông, Hải Lăng, Quảng Trị.
Phù điêu và Linga cùng các hiện vật đá ở miếu Bà Lồi, chùa Ưu Điềm.
Ban thờ Pháp Vân ở chùa Dâu, Thuận Thành, Bắc Ninh.
Vị trí các địa danh trong bài.
Ban thờ Ngọc Hoa – Tiên Dung trong sân chùa Hoa Long.
Cổng đền Tố ở xã Trạm Thản, Phù Ninh.
Hoành phi Vương tích triệu Cơ và Nam bang triệu tổ ở đình Cổ Tích. 
Bách Việt trùng cửu 